光學(xué)顯微鏡的發(fā)展舊，已由普通的二維成像發(fā)展為三維結(jié)構(gòu)的立體成像.橫向分辨率與縱向分辨率有了很大的提高.新的光學(xué)技術(shù)和日益發(fā)展的數(shù)字式成像信息處理系統(tǒng)為研究表面結(jié)構(gòu)和立體結(jié)構(gòu)提供了更加有效的方法.

    光學(xué)顯微技術(shù)的革命性發(fā)展開始于50年代末期共焦掃描原理出現(xiàn)，基于這一原理的共焦掃描光學(xué)顯微鏡已成為三維物體結(jié)構(gòu)再現(xiàn)的有利工具.這種顯微鏡能消除非焦點(diǎn)結(jié)構(gòu)的信息對成像的影響，實(shí)驗(yàn)證明對生物樣品的研究具有特別的*性.例如，用高速掃描共焦成像系統(tǒng)與普通顯微鏡聯(lián)合使用來研究生物樣品取得了很好的效果。

    掃描隧道顯微鏡由于能對樣品在原子水平上成像及進(jìn)行信息處理而受到廣泛重視。這一技術(shù)的光學(xué)模擬技術(shù)—近場光學(xué)顯微鏡也同時(shí)發(fā)展起來。這種顯微鏡打破了波長限度的分辨率限制，從而可得到更多的樣品表面信息.

    微分掃描光學(xué)顯微鏡的發(fā)展則別具特色與多樣性。由于普通掃描顯微鏡在結(jié)構(gòu)沒有變化的情況下也會產(chǎn)生假信號，所以系統(tǒng)的潛在能力不能充分發(fā)揮出來.而微分掃描光學(xué)顯微鏡，只有在結(jié)構(gòu)上相鄰兩點(diǎn)有結(jié)構(gòu)的變化時(shí)才能有信號，這樣使顯微鏡的技術(shù)指標(biāo)得到了進(jìn)一步提高。在這方面近年發(fā)展迅速，如微分相位光學(xué)顯微鏡，微分振幅光學(xué)顯微鏡，光導(dǎo)纖維掃描微分相位相干光學(xué)顯微鏡等竟相推出。