原子力顯微鏡的主要結(jié)構(gòu)包括帶針尖的微懸臂、微懸臂運(yùn)動(dòng)檢測(cè)裝置、監(jiān)控其運(yùn)動(dòng)的反饋回路、使樣品進(jìn)行掃描的壓電陶瓷掃描器件、計(jì)算機(jī)控制的圖像采集、顯示及處理系統(tǒng)等。在系統(tǒng)檢測(cè)成像全過(guò)程中，探針和被測(cè)樣品間的距離始終保持在納米(10e-9米)量級(jí)。當(dāng)針尖與樣品充分接近相互之間存在短程相互斥力時(shí)，檢測(cè)該斥力可獲得表面原子級(jí)分辨圖像。
 

　　原子力顯微鏡(AFM)的測(cè)定步驟：
 

　　-打開(kāi)設(shè)備電源，檢查探針是否安裝正確，并校準(zhǔn)掃描儀的各個(gè)參數(shù)。
 

　　-準(zhǔn)備待測(cè)樣品，確保其表面平整、干燥，適合進(jìn)行AFM觀察。
 

　　-將樣品安裝在AFM樣品臺(tái)上，確保樣品與AFM探針之間有足夠的空間。
 

　　-使用樣品臺(tái)的高度調(diào)節(jié)裝置，將樣品調(diào)整到適當(dāng)?shù)奈恢谩?br /> 

　　-根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求選擇適當(dāng)?shù)腁FM探針，考慮其彈性常數(shù)、共振頻率等參數(shù)。
 

　　-將選擇好的探針安裝在AFM探針持有器上，并確保安裝過(guò)程在潔凈環(huán)境中完成。
 

　　-設(shè)置掃描模式，如接觸模式、非接觸模式。
 

　　-定義AFM掃描的區(qū)域大小以及掃描點(diǎn)數(shù)。
 

　　-根據(jù)需要調(diào)整掃描速度，平衡分辨率和掃描時(shí)間。
 

　　-啟動(dòng)AFM系統(tǒng)，并等待其初始化。
 

　　-開(kāi)始AFM掃描，觀察樣品表面的拓?fù)鋱D像。
 

　　-記錄AFM獲得的數(shù)據(jù)，包括高度、力曲線等。
 

　　-保存獲得的拓?fù)鋱D像和其他相關(guān)數(shù)據(jù)。
 

　　-使用AFM軟件對(duì)獲得的拓?fù)鋱D像進(jìn)行分析，提取表面特征和高度信息。
 

　　-根據(jù)需要繪制樣品表面的剖面圖。
 

　　-在完成掃描后，停止AFM系統(tǒng)的運(yùn)行。
 

　　-關(guān)閉AFM系統(tǒng)并斷開(kāi)電源。
 

　　-嚴(yán)禁觸摸原子力顯微鏡的探針，因?yàn)樘结樅苋菀资艿綋p壞。
 

　　-避免任何刮擦、撞擊或其它樣品的損壞行為。
 

　　-避免任何液體或高溫、高壓等有害物質(zhì)被迅速添加到樣品中。
 

　　-使用時(shí)請(qǐng)注意觀察樣品是否有變化，及時(shí)檢查和維護(hù)儀器。